ICP、ICP-MS几乎可以有效的分析所有元素，因此被广泛的使用于半导体产业、核工领域，以及环境样品的元素分析。尤其是 ICP-MS，由于可以进行极微量的金属分析，因此所使用的超纯水，其金属是要去除到极限的。

超纯水系统的纯化方法中，用来去除离子的是离子交换树脂，因此维持树脂的交换能力是很重要的。离子交换树脂除了会因为官能基饱和而降低去除能力外，树脂表面也会发生有机物质与微生物的附着，所以在离子交换树脂的前段处理程序中，最好使用紫外线灯来氧化分解有机物质，以防止树脂被污染。此外，为了尽早发觉树脂的劣化，所以可以在前段的离子交换管匣之后装上比阻抗计，以侦测水质的变化（图１）。这种超纯水系统的组合，对水中所含元素的侦测灵敏度可达 ppt 级。

影响 ICP-MS 分析的因素中，包含容器的清净度与溶出 (extraction) 问题。当我们进行极微量的无机离子分析时，必须使用高纯净度以及不易溶出金属离子的容器。关于其它的技术问题，如 Nebulizer 产生气泡现象，以及 K、Ca 等离子的检测讯号会受到 Ar 的影响，可藉去除水中溶解气体来解决问题。